NVAC DM 抗粉末真空泵浦油
NEOVAC DR-M是高度精製基礎油,經過高真空分子蒸餾與排列改組,通過添加特殊添加劑延遲油的使用壽命的旋轉式真空泵油。
於半導體製造CVD工藝過程中, DR-M具有優異抑制真空油變濃稠的效果和優異的潤滑性。
DR-M真空油特性:
1優異的耐氣體性和出色的熱穩定性和氧化穩定性。
2通過添加特殊添加劑,可延長油的使用壽命。
3可減少換油次數,提高工作效率。
4因為它是分餾基礎油,所以它具有低蒸氣壓並表現出優異的真空特性。
DR-M用途:
半導體化學氣相沉積(CVD)鍍膜製程
有粉末、粉塵的真空環境
適用泵(主要是直結型泵浦和其他各式旋轉泵浦)
DR-M可取代ULVAC ULVOIL Super-R-7500
<h2 class="product-title mt-0" font-weight:500;line-height:1.1;margin-bottom:10px;font-size:26px;letter-spacing:0.3px;background-color:#ffffff;margin-top:0px="" !important;"="" >DR-M可取代LION S-40DX; LION S-70DX